Технологията за измерване на вакуум е критичен компонент на науката и технологиите за вакуума, с нарастващи изисквания както в отбранителния, така и в гражданския сектор. Точното измерване на вакуумното налягане е особено важно. Вакуумните датчици се използват широко в промишленото производство, полупроводниковото оборудване, ядрената индустрия и други области. Световноизвестните производители на вакуумметри включват MKS Instruments и INFICON. Има два често срещани типа вакуумметри въз основа на техните принципи на работа: единият е металният капацитетен вакуумметър, представен от техническия подход на MKS, а другият е керамичният капацитетно вакуумметър, представен от техническия подход на INFICON. Като цяло металните капацитивни вакуумметри предлагат по-добра производителност от керамичните капацитетни модели, което ги прави по-широко разпространени.
Чувствителният елемент на метален капацитетен вакуумметър се състои от капацитивна структура, образувана от метална диафрагма с дебелина приблизително 40 μm и керамичен електрод. Както е показано на фигурите по-горе, металната диафрагма се разтяга с голяма сила на опън, преди да бъде заварена, създавайки структура, способна да издържи налягания на претоварване до стотици пъти над номиналния диапазон. Когато се приложи вакуумно налягане към диафрагмата, тя се деформира, променяйки капацитета между металния диафрагмен електрод и керамичния електрод. Чрез измерване на тази промяна на капацитета и калибрирането му спрямо стандартните стойности на вакуумното налягане може да се определи абсолютната стойност на вакуума. За да се подобри точността на измерването, вътре в кухината се поставя геттер.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. независимо разработи вакуумметъра VG750, постигайки производителност, сравнима с продуктите на MKS и INFICON. Той покрива обхват на измерване от 1 Torr до 1000 Torr и е широко разпространен в пакетни приложения в рамките на полупроводниковата и ядрената промишленост. Спецификациите му за производителност са изброени в таблицата по-долу. Заинтересованите страни са добре дошли да се свържат с нас за пробна употреба.
За повече информация, моля посетете нашия уебсайт:mihuitec.com или разгледайте продуктовата страница: Китай VG750 Метален капацитивен диафрагмен манометър Производители Доставчици Фабрика - Оферта - Mihui Tech.
